本文报道的实验中,使用了波长比源材料气体吸收边短得多的真空紫外光(VUV)作光源,使气体源材料能有效地被分解,通过气体源和光源适......

根据光吸收定律和边界层理论，得到了直接法ＣＶＤＳｉＯ２膜沉积速率方和Ｒｓｉｏ２＝∑／ｉ，ｊ，ｋＫｉＤｉ／Ｎｓｉｏ２√ｐＵ０／μＬＩ０λ「１－ｅ－（ｐｐｃｒ／ｐＴｘ）」主程与实验结果基本相符。......