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直流辉光放电薄相关论文
直流辉光氧等离子体刻蚀金刚石膜的研究
在直流辉光放电等离子体装置上,利用不同直流功充和工作气压下产生的氧等离子体对CVD金刚石厚膜的表面进行了刻蚀。利用扫描电子显......
期刊
金刚石膜
刻蚀
直流辉光放电薄
氧离子体
Diomond film
Etching
DC glow discharge
Oxygen plasma
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