Ｔａｙｌｏｒ Ｈｏｂｓｏｎ公司最近已将相位光栅干涉计（ＰＧＩ）投放市场。这种度量计目前的测量范围和分辨率分别为１０ｍｍ和１３ｕｍ，它代表了计量技术的重大突破。在此将讨论ＰＧＩ计的......