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相位调制-解调相关论文
微光学集成的高精度MOEMS加速度传感器研究
微加速度传感器是军械、车辆、船舶等抗冲击、抗振动测量,地震监测,惯性导航与制导系统的重要传感器,特别是微型10-6-10-9g量级的......
学位
微光学集成
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相位调制-解调
高精度MOEMS加速度计信号处理系统设计
本文设计搭建了一套针对高精度MOEMS加速度计的信号处理系统。MOEMS加速度计将微光学技术与微机械加工技术相结合,不仅具有体积小......
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