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分布式MEMS移相器机电耦合建模、公差确定及变形补偿
移相器是相控阵天线的核心部件之一,它是控制相控阵天线空间波束指向的“方向盘”,其性能的好坏直接影响相控阵天线的性能。相对于几......
学位
分布式MEMS移相器
机电耦合建模
相移量预测
公差确定
变形补偿
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