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真空二流体蚀刻相关论文
真空二流体制作35μm/35μm细线路的研究
文章尝试了采用真空二流体蚀刻试做35μm/35μm线路的可行性。经过实验证明:采用DES工艺&搭配合适的蚀刻设备,如真空二流体蚀刻机,......
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真空二流体蚀刻
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