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采用磁过滤阴极真空弧沉积(FCVAD)技术,以金属Zr为阴极,在真空室中通入氮气(N2)在Si(100)上制备纳米晶ZrN薄膜。分别利用X射线衍射......
在用真空阴极弧制备TiN和TaN两种薄膜的基础上,采用两个独立的金属弧源同时放电的方法成功制备出(Ti,Ta)N三元薄膜。通过X射线衍射、......
背景:采用各种表面改性方法提高医用钛及钛合金植入物的骨整合,是目前人工关节假体领域研究的重点之一。目的:在纯钛表面制备掺硅......