石墨化磨损相关硕士博士期刊学术论文

在用金刚石刀具超精密切削单晶硅的过程中，刀具的后刀面会发生沟槽磨损，会严重影响被加工件的表面质量。金刚石刀具后刀面沟槽磨损机......