石英反应室相关论文
用卤素钨灯作辐射热源，对超薄SiO2进行快速热氮化（RTN）制备了SiOxNy膜．研究了不同RTN条件下制备的SiOxNy样品的AES测量的氮纵向分布．研......
在一个石英反应室内，让激光解离的Ｎｉ＋与连续喷入的酯类化合物分子束流反应， 生成的产物离子经飞行时间质谱仪检测，研究了Ｎｉ＋与乙酸乙酯、乙......
