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CZ-Si辐照缺陷的红外研究

报道了高碳CZ-Si经中子和电子辐照后产生氧-缺陷复合体的研究结果。电子辐照产生的830cm~(-1)峰在退火时转化成889、904、969、986......

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中子辐照红外光谱辐照效应卫星峰硅(Si). CZ-Si 重氧复合体双空位吸收峰

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