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硅基锗外延层相关论文
硅基锗薄膜外延及锗MOS电容的界面特性研究
采用低温Ge和SiGe/Ge超晶格相结合,吸收过滤因晶格失配在硅/锗界面处产生的失配位错向表面的穿透,制备出低位错密度、高质量的硅基Ge单......
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硅基锗外延层
MOS电容
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