硅微环形振动结构相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

硅微环形振动结构相关论文

电容式MEMS环形振动陀螺结构设计及加工

微机械环形振动陀螺仪采用四波腹工作原理,具有精度高、抗冲击性能好等优点。通常情况下为了提高电容值和信噪比,环形结构会采用高......

期刊

硅微环形振动结构 footing效应加工工艺性能测试零偏稳定性 silicon micro vibrating ring structure footi

看过本文同时还关注