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通过实验观察了痕量梯恩梯的爆燃现象及其规律,并在此基础上设计了一种集成有加热元件和检测元件的高灵敏度硅梁结构.有限元仿真结......
利用正反馈闭环谐振原理，采用偏置交流激振、一倍频拾振的方法，设计了闭环谐振电路和相应的数据采集电路，并对该电路进行了综合调试．实......
作者利用微电子机械加工技术成功研制出用于高精度压力传感器的硅梁谐振器。采用热激励方式,测定了谐振梁的开环振动幅频特性:室温......
非接触式压力传感器利用特殊的机械结构,大大改善了传统接触式压力传感器工作区域狭小,线性度较差等问题,使压力传感器在高载荷条......
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