硅棒温度相关论文
多晶硅还原炉硅棒表面温度控制既要保证硅棒表面在最佳反应温度,又不要使其波动较大。由于多晶硅生产过程中的气相沉积反应使硅棒......
随着多晶硅行业竞争的日益激烈,全世界大部分多晶硅生产企业均采用改良西门子法来生产多晶硅。在多晶硅生产过程中,异常沉积的情况......
