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硅片直接键合技术相关论文

硅片直接键合技术与传感器结构研究

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会议

硅片直接键合技术传感器

由SDB及AS技术实现IGBT的研究

具有MOS栅控能力和双极晶体管大电流传输性能的绝缘栅双极晶体管(IGBT)是21世纪最理想的功率半导体开关之一。该文在回顾功率器件......

学位

绝缘栅双极晶体管硅片直接键合技术穿通结构阳极短路结构流片

硅片直接键合迅速发展

硅片直接键合技术 (ＳＤＢ)就是把二片抛光硅片经表面清洁处理 ,在室温下预键合 ,再经高温键合而成为一个整体的技术。ＳＤＢ技术主要分两种 :......

期刊

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