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硅锗膜相关论文
UHV/CVD硅锗膜的Raman光谱分析
本文提出一种用Raman光谱测量SiGe合金膜中的锗组分及应变的方法,方法是非破坏的.并用这一方法测量了几种不同锗组分和膜厚度的SiG......
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拉曼光谱分析
半导体薄膜
Raman measurement SiGe alloy relaxat
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