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高精度大广角电子束偏转扫描系统研究
金属粉末床电子束增材制造技术要满足大尺寸金属零件的成形要求,需要扩大电子束的偏转角度,从而会加大电子束像散,常规两相绕组偏......
学位
电子束
多相绕组
偏转扫描装置
低像散
磁动势分解
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