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为了满足恶劣环境下精密位移测量的需求,解决现有测量方法在大量程和高精度之间无法兼顾的难题,克服小栅距造成加工难度大的缺点,......
随着数控加工技术不断的要求实现高速和超高速化、精密和超精度化，永磁直线同步电动机(PMLSM)直接驱动技术在精密定位领域中得到了......
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