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磁悬浮微动台解耦及控制研究
磁悬浮微动台作为光刻机粗精叠层超精密运动平台的关键部件之一,其运动行程小、精度要求高,同时其运动及定位精度将直接决定晶圆在......
学位
磁悬浮微动台
电磁力建模
模型误差
耦合
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