磁控溅射离子镀铝相关硕士博士期刊学术论文

设计了循环Ar轰击－磁控溅射离子镀(MSIP)工艺，并用俄歇电子能谱仪(SAM)、扫描电镜(SEM)、湿热腐蚀加速实验，研究了采用该工艺在铀上......