磁控溅射镀膜机相关论文
介绍了磁控溅射镀膜设备在使用中靶材Si出现碎裂的两种现象,其中重点分析了两种现象产生的根本原因,并根据实际情况进行了工艺参数......
该文叙述了用于隔热膜生产的卷绕式磁控溅射镀膜机运行的分析、优化的过程。实验证明在优化扣参数的情况下，能连续生产出可见光透射......
类金刚石薄膜，是近几年发展起来的一种新型薄膜材料。这种新型材料，由于在力学、电学、化学、光学等方面具有许多独特的性质，已经广泛......
介绍了非平衡磁控溅射系统的原理，试验性能情况，并简要介绍了该系统的一些应用。...
采用硅偶联剂对TR组件(陶瓷电路板)表面进行改性处理,使得陶瓷电路板中的金属材料与聚四氟乙烯极性相近,通过射频磁控溅射在TR组件......
传统磁控溅射镀膜机控制系统主要由单片机、继电器控制构成,操作过程主要依靠人工完成,效率低,且不具备安全互锁、数据采集等功能......
高真空磁控溅射镀膜机的温度控制在镀膜过程中起着十分重要的作用,温度控制的好坏直接影响到成膜质量。本文研究了专家PID算法的原......
