磁控溅射阴极相关论文
常规永磁磁控溅射阴极在镀膜过程中,无法实现对磁场强度和非平衡度的调节,影响了对最优化镀膜工艺的探究。复合式磁控溅射阴极采用永......
通过Ansys有限元模拟传统圆形平面磁控溅射阴极的磁场排布,分析了直径为72mm圆形平面溅射阴极靶材利用率低的原因,模拟计算得到靶......
采用模拟冲击法研究了铁磁材料在300和77 K环境下的磁性能。以电工领域常用的铁磁材料DT4、1J22、2Cr13和非晶FeSiB为研究对象。结......