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磁控源相关论文

一个会切阳极小矩形磁控源研究

<正> 磁控源通常工作于0.1Pa～10Pa真空,常规的磁路设计难以使源小型化.单环靶面积利用率仅约30％,多环靶利用率达80％,但结构复杂.为此,......

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磁控源阳极会切磁场磁场

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