磁流变平面抛光相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

磁流变平面抛光相关论文

磁流变平面抛光晶圆表面划痕损伤形成机制与抑制方法研究

半导体晶圆制造领域对工件表面的加工要求极高,尤其是针对于新一代的化合物半导体材料如碳化硅（Si C）、砷化镓（Ga As）、氮化镓（Ga N）等,......

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磁流变平面抛光划痕损伤划痕损伤形貌模型抑制方法

磁流变平面抛光过程中抛光力信号分析与提取

在磁流变平面抛光过程中,抛光力是反应磁流变抛光加工过程的重要物理量,而抛光机的结构限制使得抛光力无法直接被采集到。本文结合......

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磁流变平面抛光抛光力有限元分析系统辨识信号处理

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