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磁溅射工艺相关论文
MICROSTRUCTURE AND PROPERTIES OF ANNEALED ZnO THIN FILMS DEPOSITED BY MAGNETRON SPUTTERING
ZnO thin films were deposited on a glass substrate by dc (direct current) and rf (radio frequency) magnetron sputtering.......
期刊
氧化锌薄膜
微结构
磁溅射工艺
被动沉积退火
zinc oxide thin films
microstructure
magnetron sputteri
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