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磁激励相关论文

磁激励RF-PECVD法低温制备类金刚石薄膜及其特性

采用磁激励射频等离子体增强化学气相沉积(M-RF-PECVD)方法,室温下分别在玻璃和Si(100)衬底上制备类金刚石(DLC)薄膜,通过扫描电镜......

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PECVD 类金刚石薄膜低温制备磁激励类金刚石(DLC) 气体传感器声表面波(SAW) 衬底温度薄膜结构玻璃衬底

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