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磷化铟系材料相关论文
窄条宽MOCVD选区生长InP系材料的速率增强因子
报道了窄条芝选区生长有机金属化学气相沉积(NSAG-MOCVD)成功生长的InP系材料,并提出在NSAG-MOCVD生长研究中,引入填充因子的必要性,给......
期刊
窄条宽选区生长
MOCVD
磷化铟系材料
速率增强因子
narrow- stripe selective area growth
MOCVD
In P- bas
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