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利用SIMS（二次离子质谱仪）对硅晶体中痕量杂质磷的定量测量进行了系统的研究，硅晶体中磷的检测限达到5×1013cm-3。实验结果表明，样品......
利用SIMS（二次离子质谱仪）测试了国产重掺砷硅单晶中的痕量杂质磷,通过样品前期处理和精密的仪器调试,使检测时间缩短,并使硅中磷的......
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集成电路和各种半导体器件制造中所用的材料,目前主要是硅、锗和砷化镓等单晶体,其中又以硅为最多。因此,对于硅材料性质的深入研......
