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离子束光学特性相关论文
聚焦离子束系统中微波离子枪的束光学特性研究
通过实验和数值模拟研究聚焦离子束中微波离子枪的离子束光学特性,该离子枪由微波等离子体源和Orloff-Swason透镜组成。该透镜除了广泛应用于场致......
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聚焦离子束
微波离子枪
离子束光学特性
Focused ion beam
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