离子束后处理相关论文
离子束技术是目前薄膜制备中广泛应用的一类技术,根据施加在薄膜制备的前、中、后三个阶段分别称为离子束清洗、离子束辅助沉积和离......
采用中频反应磁控溅射方法和线性阳极层离子源实现了TiO2薄膜在线制备和在线离子束后处理。通过对薄膜光学性质的研究,发现氧离子......