离子源自身研究的复杂性和应用区域的多样性,使得离子源的研究一直持续受到人们的关注,不同的设计要求和应用对象都导致离子源技术......

本文简要叙述法国CAMECA公司,德国ION TOF GmbH公司新型的Nano SIMS50 IMS WF IMS SC UITRA TOF SIMS IV型二次离子质谱的特色,着......

针对离子减薄制样仪的离子枪高电压绝缘体(环)污染失效、再生变型等问题,提出了以石英玻璃环替代陶瓷环为绝缘体的方案,设计实施方......

<正> 1.前言考察各种类型的分析离子枪时,用稀有气体离子束的离子枪大致有两种。第一种是为了控制电离室压强而设有专用排气系统的......

<正> 在各种光学干涉应用和集成光学平面波导中,要求高质量的介质膜.很多无机化合物膜用普通镀膜方法沉积很难达到要求的附着力、......

叙述了聚焦离子束离子光学系统中离子枪的优化设计，采用复合形法进行优化设计后的离子枪，其发射性能，光学性能和工作寿命都显著提高。......

近年来,随着半导体工业和微细加工行业快速发展,聚焦离子束因其优异的性能得到行业的广泛认可。离子束穿过固体时有很强的直进性,......