离子溅镀相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

离子溅镀相关论文

TiCN渐进陶瓷硬质薄膜的力学性能研究

利用HCD离子溅镀机沉积晶粒大小介于60～120nm间的一系列TiCN硬质薄膜，包括单层TiCN硬质薄膜及渐进TiCN硬质薄膜，并利用穿透电子显微镜......

会议

TiCN 陶瓷硬质薄膜离子溅镀显微结构力学性质耐磨性

超低温薄膜压力传感器的研制

本文对薄膜压力传感器的原理、结构、工艺等进行了分析,并介绍了应用离子溅镀、激光调阻等技术研制成的一种小型超低温薄膜压力传......

期刊

离子溅镀薄膜激光调阻温度特性

看过本文同时还关注