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高温超导台阶结的研究

在铝酸镧衬底上研制了高温超导台阶结.采用金属转移剥离技术及离子铣技术在铝酸镧衬底上刻蚀出坡度角大于70°陡直台阶.结的特性与......

会议

高温超导金属转移剥离技术铝酸镧离子铣技术温度窗口微波辐照高频响应衬底台阶结坡度角特性刻蚀

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期刊

铝酸镧衬底高温超导台阶结金属转移剥离技术离子铣技术超导约瑟夫逊隧道结微电子器件

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