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利用不同相位之雙電極Push-Pull PECVD成長二氧化鈦薄膜並應用於降解水及空氣汙染物
本研究以不同電位相位差(180°)之雙電極推拉式電漿激發化學氣相沉積(Push-PullPECVD)法沉積二氧化鈦薄膜(如圖1),利用氬氣(20 sccm......
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