等离子源离子注入相关论文
本文尝试了以CHF3、CH4／CHF3和C2H2／CHF3为源气体，利用微波ECR等离子体源离子注入技术和等离子增强化学气相沉积技术来制备氟化类金刚......
本文采用等离子源离子注入(PSII)技术在硅衬底上制备薄膜,利用Raman光谱表征制备薄膜的类金刚石特性.详细介绍了采用原子力显......
医用31 6L不锈钢植入物植入体内后,体内环境可导致其产生腐蚀和Ni离子的析出.利用双放电腔微波等离子体源全方位离子注入设备,采用......
