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籽晶背面镀膜相关论文
籽晶背面镀膜对SiC晶体质量的影响
SiC作为新一代半导体材料,具有广阔的应用前景;而在晶体生长过程中产生的缺陷对晶体的质量产生了重要的影响。本文根据SiC晶体中的......
学位
SiC晶体
籽晶背面镀膜
生长质量
直流反应溅射法
表面形貌
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