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纳米压入变形行为相关论文
铜银和氮化钛薄膜沉积过程及纳米压入变形行为的MD模拟
薄膜的结构与性能取决于其制备过程,而气相沉积是主要的制备方法。另外,薄膜沉积也是探索特异成分与结构的物质的有力手段。另一方......
学位
薄膜材料
铜元素
银元素
氮化钛
原子沉积过程
纳米压入变形行为
MD模拟
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