纳米吸气剂相关论文
在MEMS封装技术中，真空封装仍是一个重点研究的课题，许多MEMS器件涉及到真空密封的问题，真空密封性的好坏对器件的性能有着重要的影响......
真空的获得和维持是目前MEMS真空封装技术中存在的主要难题之一。实验利用具有高比表面积和自身储气特性的碳纳米管（CNTs）作为骨架,......
在MEMS技术中,真空封装是一项关键技术问题,其中吸气剂工艺是高真空度获得和维持的必要条件。本实验室以CNTs作为骨架,利用CNTs具......
