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纳米栅线结构相关论文

纳米尺度栅线结构的线边缘粗糙度分析和表征

为了对线边缘粗糙度（LER）和线宽粗糙度（LWR）进行分析和表征，采用电子束光刻工艺和感应耦合等离子体刻蚀工艺制备了两种纳米尺度栅线结构......

期刊

计量学纳米栅线结构线边缘粗糙度线宽粗糙度扫描电子显微镜 Metrology Nanostructure Line edge roughness L

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