纳米级制造相关硕士博士期刊学术论文

介绍一种用ｎｍ级制造具有ｘｙｚ三维微定位能力的扫描描探针显微镜。采用电磁足周期性地夹紧与松开，结合压电陶瓷管的轴向伸缩变形的微位移爬......