纳米级粗糙度相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

纳米级粗糙度相关论文

钛基片的化学机械抛光技术研究

采用化学机械抛光(CMP)方法对钛基片进行纳米级平坦化处理,通过系列抛光试验优化抛光液组成和抛光工艺条件后,得到AFM-Ra为0.159 n......

期刊

钛基片化学机械抛光纳米级粗糙度抛光机理

纳米级超精密磨削IC硅片的金刚石砂轮材料研究

IC芯片是电子计算机、智能手机和平板电脑等智能终端设备所用微处理器的核心部件。目前,全球90%以上的IC芯片均采用硅片作为衬底材......

学位

金刚石砂轮 IC硅片纳米级粗糙度造孔剂磨削性能

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