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纳米位移感测器(LDGI)的微处理机系统研究
当下超精密加工已经涉足纳米领域(0.1—100nm),因此对相关测量设备和仪器的精度也提出了更高的要求,具备纳米级分辨率的三坐标测量机应......
学位
线性衍射光栅干涉仪(LDGI)
细分
TMS320VC5509A
细分芯片
小型光电编码器细分芯片的设计
为了实现在不增编码器体积和码盘刻线数的前提下提高中低精度小型光电编码器分辨力,设计了一种适用于小型光电编码器的细分芯片。......
期刊
光电编码器
细分芯片
空间位移测量
分辨率
精度
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