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结晶态α方石英相关论文
非晶熔石英表面等离子体刻蚀过程中的表面晶化研究
本工作采用电子回旋共振(ECR)低压等离子体刻蚀技术,刻蚀非晶熔石英表面.Ar/CF4为反应气体刻蚀后再经O等离子体钝化,非晶熔石英表面......
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非晶态熔石英
结晶态α方石英
低压等离子刻蚀
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