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绝缘层上氧化硅相关论文
不同注入及退火条件下硅自离子注入SOI材料的发光特性与机理
光电子-微电子集成是目前半导体行业研究的一个重点方向,然而Si的间接带隙性质使得其辐射复合效率低下,极大地限制了 Si在光电产业......
学位
自离子注入
绝缘层上氧化硅
填隙团簇
光致发光
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