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聚焦离子柬(Focused Ion Beam,FIB)技术自从20世纪70年代中期问世以来就得到了迅速发展,尤其是近些年伴随着FIB系统在分辨率、稳定性、......
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半导体工业中的“结构诊断”——缺陷表征和失效分析工具
<正> 信息技术是当今世界发展最为迅速的技术之一,支撑信息技术的半导体制造技术和工艺同样也是日新月异。目前最先进的半导体工厂......
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