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随着微机电系统（MEMS）技术的迅猛发展,各种微纳米级的微小元器件相继问世,微纳米三坐标测量机对微尺寸器件的高精度测量愈发重要。其......
为了设计一种形貌与边缘复合测量系统,能够兼具形貌、边缘、阶高等多种测量功能,本文主要完成了如下几项工作:1、设计并搭建了基于......
激光直写机是制作衍射光学元件的关键设备,离焦检测技术是其中的重要单元技术之一。离焦检测系统为聚焦伺服系统提供聚焦误差信号,......
为了保证精密仪器正常工作和测量精度,对于环境参数如温度、湿度、洁净度和振动等有一定的要求。为了解仪器工作的环境振动情况,一......
应用线切割方法设计了光针轮廓仪伺服机构-音圈电机的结构,使其具有更好的静动态特性和焦点自动跟踪能力.通过改善传统的聚焦误差......
采用DVD光碟机的激光读取头，开发出微器件表面3D形貌的新型微／纳米测量系统。分析了激光读取头内部结构与运作原理，当反射面不在聚焦......
随着工业精密测量对于精度和分辨率的要求越来越高,光学探头在工业精密测量中得到了广泛的应用。由于DVD读取头的聚焦误差信号FES（F......
本论文以DVD激光读取头为研究基础，分析了激光读取头的光学原理，机械结构与电气性能，开发出三种不同功能的创新型微纳米测量探头：光学......
介绍了基于DVD光读取头的低频振动测量原理和方法。利用光读取头中的音圈马达,驱动物镜跟踪被测面的振动,使振动面保持在物镜焦点......
