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高k栅介质对肖特基源漏超薄体SOI MOSFET性能的影响
研究了高k栅介质对肖特基源漏超薄体SOI MOSFET性能的影响.随着栅介质介电常数增大,肖特基源漏(SBSD)SOI MOSFET的开态电流减小,这......
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高k栅介质
肖特基源漏(SBSD)
边缘感应势垒屏蔽(FIBS)
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