脉冲加矩相关硕士博士期刊学术论文

该文报道了一种双框架式微机械陀螺的设计与准ＬＩＧＡ制备工艺。采用有限元方法分析微陀螺结构参数对性能的影响，并设计出微机械陀螺的结构......