脉冲金属有机物化学气相淀积相关硕士博士期刊学术论文

当In含量为17.6%时，InAlN晶格可与GaN晶格实现晶格匹配无应力状态，因此可避免由于晶格失配产生的一系列问题。但是由于InN和AlN两种......