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膜厚均匀相关论文

用激光扫描方法改善超导薄膜的厚度均匀性

随着高T_c超导薄膜的成功制备,人们开始着眼于它的实际应用.目前,超导薄膜最有可能得到应用的一个重要方面是微波器件.但微波器件......

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超导薄膜激光扫描化学气相淀积磁控溅射膜厚均匀激光淀积厚度均匀性激光消融法线方向微波器件

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